来源：格隆汇

格隆汇8月3日丨微导纳米(688147.SH)在7月1日-7月31日投资者关系活动上表示，公司半导体ALD设备的应用场景均代表国内半导体各细分领域的工艺多元化发展方向，在逻辑芯片、存储芯片、新型显示芯片、化合物半导体领域均有设备订单，并逐步推动在客户端验证或验收。公司基于客户关键工艺开发的战略需求推出的iTronix®系列CVD设备，是微导纳米基于客户关键工艺开发的战略需求，自主研制的新产品系列；适用于氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、非晶硅等多种薄膜的沉积工艺，可广泛应用于逻辑、存储、先进封装、显示器件以及化合物半导体等领域芯片制造。

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